技术特点
- Nanocrystal是专门为纳米光学结组织备而设计的无掩模光刻系统，配置了可陆续变空频的位有关涉系统，实现亚波长光学结构的亚纳米调控精度造备。
- 该光刻系统选取355nm紫表光源、大数值孔径（NA=0.9）过问光学系统、百微米像素视场领域，满足150nm-5μm领域微纳光学结组织备，配置3D导航聚焦、飞行高速曝光模式，是大幅面亚波长结组织备的优良伎俩？衫糜诠庾泳濉⒀苌涔庋骷、光场调控显示、光学超表表等钻研和器件造备。
规格参数
* 具体指标因工艺差距有所分歧
利用示例
数字化光刻
高端仪器设备
Nanocrystal 大幅面纳米光刻