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技术特点

• 高质量薄膜
  ，能够产生高纯度、高密度、优良附着力的薄膜
  ，合用于高精度和高机能的利用领域
• 优良的涂层均匀性
  ，可能在复杂状态的衬底上形成均匀的薄膜
  ，合用于规定和不规定状态的物件
• 低温沉积
  ，与传统PVD技术相比
  ，可在较低的温度下进行
  ，适合对热敏感的衬底资料
• 全方位覆盖消费类电子、智能家居、新能源车、机械人、无人机、可穿戴产品、AR/VR、中幼尺寸触控面板等领域