技术特点
- 针对异质结电池片铜栅线工艺的图形化需要，专门设计了一款投影扫描光刻系统，拥有急剧光刻、分辨率好、大焦深的特点，选取405nm光纤激光光源，极度适合在光伏专用感光油墨上进行曝光，实现高品质的槽型结构 。配置了CCD鉴别基片纠偏系统，实现30μm对准精度 。
- 该投影扫描光刻模式，选取较低成本的通常掩模版作为图形输入，且拥有曝光均匀性与一致性好、工艺窗口大、对基片厚度误差适应性高、便于与前后路设备组线的利益，是光伏图形化的梦想解决规划 。
规格参数
* 具体指标因工艺差距有所分歧
选取抛光基片，负光刻胶的光刻了局
选取光伏镀铜基片，感光油墨的光刻了局
